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激光干涉儀
技術(shù)參數(shù)：
系統(tǒng)精度：±0.5ppm（0～40 ℃整個工作環(huán)境范圍）
激光穩(wěn)頻精度：±0.05ppm
分辨率：0.001um
測量速度：4.0m/sec
采樣頻率：50KHz
測量范圍：0-80metres
預(yù)熱時間：～6分鐘

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